MEMS 가속도계는 내고충격성, 초소형, 낮은 가격을 장점으로 군사 및 산업 분야에서 폭 넓게 활용되고 있다. MEMS 가속도계의 오차 요인 중 환산계수 비선형도는 동작 범위 안에서 센서 측정값의 비선형적 특성을 유발하고 적용 체계에 따라 항법 성능에 매우 큰 영향을 주기도 한다. 이러한 가속도계 환산계수 비선형성을 교정하기 위해서는 고속 회전이 가능한 레이트 테이블 등 별도의 시험 환경 구성이 필요하여 측정에 불편함이 있다. 본 논문에서는 다자세 시험을 통해 인가되는 작은 크기의 가속도를 이용하여 가속도계 환산계수 비선형도를 보정하는 교정 기법을 제안한다. 제안하는 기법으로 MEMS 관성측정기를 교정하여 그 결과를 분석하였다.

Keywords: MEMS-IMU, accelerometer, scale factor nonlinearity, multi position test

Speaker Jeong-Geun Hong*